[发明专利]后表面照明的固态图像传感器

摘要

一种微电子单元（100），包括半导体元件（14），该半导体元件（14）具有与封装层（20）连接的前表面和远离前表面的后表面。元件（14）包括光检测器（17），该光检测器（17）具有排成阵列的多个光检测器元件，与前表面相邻设置且布置为接收穿过后表面的光。半导体元件（14）还包括在前表面上与光检测器连接的导电接触件（16）。导电接触件（16）包括薄区和厚度比薄区更厚的厚区。导电互连（70）穿过封装层（20）延伸至导电接触件的薄区，且导电互连（70）的一部分在微电子单元（100）的表面暴露。

主权项

一种微电子单元，包括：半导体元件，所述半导体元件具有前表面和远离所述前表面的后表面；封装层，所述封装层与所述半导体元件的所述前表面连接，其中所述半导体元件包括光检测器和在所述前表面上与所述光检测器连接的导电接触件，所述光检测器与所述前表面相邻设置且与所述后表面的一部分对齐以接收穿过所述后表面的一部分的光，其中所述光检测器包括排成阵列的多个光检测器元件，其中所述导电接触件包括具有第一厚度的薄区和具有比所述第一厚度更厚的第二厚度的厚区；和导电互连，所述导电互连穿过所述封装层延伸至所述导电接触件的所述薄区，所述导电互连的至少一部分在所述微电子单元的表面暴露。