[发明专利]用于刻划碳化硅板的方法和设备

摘要

刻划设备包括：水平工作台（3），碳化硅板（2）在真空抽吸作用下固定在该水平工作台（3）上；进给螺纹（5）和Y轴控制电动机（6），该进给螺纹（5）和Y轴控制电动机（6）用于使水平工作台（3）在刻划数字控制下沿着成对引导轨道（4、4）移动；引导轨道装置本体（7），该引导轨道装置本体（7）沿着X轴方向安装在水平工作台（3）上方；支架（8），该支架（8）安装在引导轨道装置本体（7）上，以便在被引导的同时沿X轴方向移动；进给螺纹和X轴控制电动机（9），该进给螺纹和X轴控制电动机（9）用于使支架（8）在数字控制下沿X轴方向移动；以及刻划头部（10），该刻划头部（10）安装在支架（8）上。

主权项

一种碳化硅板刻划方法，所述方法包括如下步骤：在刻划开始时，首先致使切割轮在所述切割轮于刻划起始点处以从0.1kg/cm²至2kg/cm²的刀缘载荷与碳化硅板压接的状态下转动或摆动，由此在所述起始点处刻划出凹痕；随后从所述凹痕内开始刻划。