[发明专利]成膜装置

摘要

本发明的目的在于提供一种成膜装置，该成膜装置能够维持均匀薄雾向用于实施成膜的基板的喷出，且防止薄雾喷射用喷嘴周边的结构的庞大化。而且，本发明具备用于产生成为成膜原料的薄雾的薄雾产生器(2)、及将由薄雾产生器产生的薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射的薄雾喷射用喷嘴(1)。薄雾喷射用喷嘴具备：具有空心部(1H)的主体部(1A)；供给薄雾的薄雾供给口(5a)；将薄雾喷射到外部的喷射口(8)；供给载气的载气供给口(6a)；及形成有多个孔(7a)的淋浴板(7)。在此，通过淋浴板的配置，空心部被分割为与载气供给口连接的第一空间(1S)及与喷射口连接的第二空间(1T)，薄雾供给口与第二空间连接。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：薄雾产生器(2)，其用于产生成为成膜的原料的薄雾；及薄雾喷射用喷嘴(1)，其将由所述薄雾产生器产生的所述薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射，所述薄雾喷射用喷嘴具备：主体部(1A)，其具有空心部(1H)；薄雾供给口(5a)，其形成于所述主体部，并将由所述薄雾产生器产生的所述薄雾供给到所述空心部内；第一喷射口(8)，其形成于所述主体部，并将所述空心部的所述薄雾向外部喷射；至少一个以上的载气供给口(6a)，其形成于所述主体部，并将向所述第一喷射口运送所述薄雾的载气供给到所述空心部内；淋浴板(7)，其配置在所述空心部内，且形成有多个孔(7a)，通过所述淋浴板的配置，所述空心部被分割成与所述载气供给口连接的第一空间(1S)及与所述第一喷射口连接的第二空间(1T)，所述薄雾供给口以与所述第二空间连接的方式形成于所述主体部。