[发明专利]用于分离旋转靶的靶的方法

摘要

根据本发明的用于分离旋转靶的靶的方法在使用旋转靶之后将通过包括铟和介质粉末的接合剂接合到背管的外周表面的靶从背管分离，其中该方法包括下列步骤：(a)将旋转靶加热到高于铟的熔化温度的温度以熔化和除去铟的一部分；(b)将其中在步骤(a)中熔化和除去了铟的一部分的旋转靶浸渍在盐酸溶液中预定的时间以使铟和介质粉末腐蚀；(c)将其中铟和介质粉末已在步骤(b)中在盐酸溶液中腐蚀的旋转靶加热到高于铟的熔化温度的温度以熔化和除去剩余的铟；和(d)在通过步骤(c)中的加热过程熔化和除去铟之后，将靶从背管的外周表面推向一侧以使靶分离。根据本发明，可降低生产的单位成本。

主权项

用于在使用之后分离旋转靶的靶和背管的方法，所述靶通过接合组合物牢固地附着到所述背管的外周表面，所述接合组合物包括铟和介质粉末，所述方法包括：(a)将所述旋转靶加热到等于或高于铟的熔点的温度以熔化和除去所述铟的一部分；(b)将已经在(a)中从其除去所述铟的一部分的所述旋转靶浸渍在盐酸溶液中预定的时间，以腐蚀所述铟和所述介质粉末；(c)将其中所述铟和所述介质粉末已经在(b)中被所述盐酸溶液腐蚀的所述旋转靶加热到等于或高于铟的熔点的温度以熔化和除去所述铟的剩余部分；和(d)将所述靶在一个方向上推离所述背管的外周表面以使所述靶和所述背管彼此分离。