[发明专利]用于测量气体的质量流率的方法和设备有效
| 申请号： | 201180066237.4 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103328937A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | N·A·道尼 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | G01F15/06 | 分类号： | G01F15/06;G01F1/78;G01F15/04;G01F15/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李强;傅永霄 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种用于测量气体的质量流率的仪器(200；350)。该仪器包括导管(206)，气体在使用中流过导管(206)。导管具有限流孔(212)，在使用中，在限流孔中会出现阻流。限流孔将导管分成在所述孔上游的上游部分(214)和在所述孔下游的下游部分(216)。仪器进一步包括传感器组件(204)，传感器组件包括在所述上游部分中的压电晶体振荡器(218)，使得当仪器在使用中时，所述压电振荡器与所述气体接触。传感器组件布置成：驱动压电晶体振荡器，使得压电晶体振荡器以共振频率共振；测量所述压电晶体振荡器的所述共振频率；以及根据共振频率来确定通过孔的质量流率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 气体 质量 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种测量通过孔的气体的质量流率的方法，在所述孔中会出现阻流，所述方法使用与所述孔上游的气体接触的压电振荡器，并且包括：a)驱动所述压电晶体振荡器，使得所述压电晶体振荡器以共振频率共振；b)测量所述压电振荡器的所述共振频率；以及c)根据所述共振频率来确定通过所述孔的气体的质量流率。
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