[发明专利]用于确定和控制在流化床反应器中的与可热分解的含硅气体一起使用的颗粒的尺寸的系统和方法有效
| 申请号： | 201180068768.7 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103403525A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | S·布萨拉普;A·纳维兹;P·古普塔;K·巴拉克里希南 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 高美艳;马江立 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于确定在流化床反应器中的与可热分解的含硅气体一起使用的颗粒的尺寸的系统和方法。通过压力传感器测量邻近反应器的气体入口和邻近反应器的气体出口的气体压力。将算法应用于压力测量值中的至少一个，以确定在反应器中的颗粒的尺寸。所确定的颗粒的尺寸可用于控制反应器的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 控制 流化床 反应器 中的 分解 气体 一起 使用 颗粒 尺寸 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于确定在流化床反应器中的与可热分解的含硅气体一起使用的多晶硅颗粒的尺寸的系统，所述系统包括：容纳有很多多晶硅颗粒并具有入口和出口的流化床反应器，该流化床反应器具有包括非反应性材料的内衬；邻近所述反应器定位的压力传感器，所述压力传感器构造成测量在所述反应器的所述入口和所述出口中的至少一个中的气体压力；和与所述压力传感器通信的处理器，所述处理器构造成通过使用算法和所测量得到的气体压力确定在所述反应器中的所述很多多晶硅颗粒中的至少一个的尺寸。
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