[发明专利]单级和双级晶片衬垫有效
申请号: | 201180069781.4 | 申请日: | 2011-04-22 |
公开(公告)号: | CN103460370B | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 詹姆斯·D·帕兰特;艾伦·L·沃伯;克里斯托弗·R·马克;大卫·A·米勒 | 申请(专利权)人: | 德克斯化工高新产品私人股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/683 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋融冰 |
地址: | 马来西*** | 国省代码: | 马来西亚;MY |
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摘要: | 公开了单级和双级晶片衬垫的改进,其中所述晶片衬垫可将作为单个第一级衬垫的边缘铰链和第二跨距中点铰链用于双级晶片衬垫。与其中力与施加至晶片衬垫的外表面的压缩量成线性关系的单级设计相比,这种双级设计赋予两个完全不同的缓冲力。所述环的外边缘提供最大膨胀使得仅所述环的所述外边缘与晶片的外边缘进行接触。所述晶片衬垫是挠曲的且在震动被转移至晶片堆叠之前吸收震动的材料。所述材料使嵌入所述晶片衬垫的碎屑或污染物最小化并且也防止材料从所述晶片衬垫上脱落。 | ||
搜索关键词: | 晶片 衬垫 | ||
【主权项】:
一种单级和双级晶片衬垫,其包括:柔性环,其具有内直径和外直径;所述内直径具有铰合剖面,其具有从所述铰合剖面延伸至所述外直径的第一支腿且所述第一支腿具有内顶部表面和外顶部表面;第二支腿,其从所述铰合剖面延伸至所述外直径且具有内底部表面和外底部表面以在所述外直径上形成所述第一支腿与所述第二支腿之间的开口,且所述第一支腿和所述第二支腿与所述内直径分隔,其中所述第一支腿和所述第二支腿还包括所述铰合剖面与所述外直径之间的肘部区段,当力施加至所述外顶部表面和所述外底部表面时,所述第一支腿和所述第二支腿将被带至一起,允许所述肘部区段进行接触,由此提供第一级衬垫。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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