[发明专利]阴极单元

摘要

该阴极单元（220）用于成膜装置（200），包括：多个靶（C1、C2、C3），设置在成膜空间（50）内，并具有背板（204）、第一母材（205）、第二母材（206）和旋转轴（207），所述背板具有第一主面（204a）、第二主面（204b）、第一侧面（211）及第二侧面（212），多个旋转轴（207）以相互平行地排列的方式配置在同一平面内；多个控制部（E1、E2、E3），使所述旋转轴（207）旋转，并对所述靶（C1、C2、C3）施加用于溅射的电压；多个磁场生成部（H1、H2、H3），设置在靠近所述背板（204）的远离所述成膜空间（50）的表面的位置，使得在所述背板（204）的靠近所述成膜空间（50）的表面生成特定的分布磁场。

主权项

一种用于成膜装置的阴极单元，其特征在于，包括：多个靶，设置在成膜空间内，并具有背板、第一母材、第二母材和旋转轴，所述背板具有第一主面、位于所述第一主面的相反侧的第二主面、第一侧面及位于所述第一侧面的相反侧的第二侧面，所述第一母材配置在所述第一主面上，所述第二母材配置在所述第二主面上，所述旋转轴从所述第一侧面朝向所述第二侧面贯通所述背板，多个旋转轴以相互平行地排列的方式配置在同一平面内；多个控制部，使所述旋转轴旋转，经由所述旋转轴对所述靶施加用于溅射的电压，并与分别与多个靶对应设置，；多个磁场生成部，设置在靠近所述背板的远离所述成膜空间的表面的位置，使得在所述背板的靠近所述成膜空间的表面生成特定的分布磁场。