[发明专利]角落切除遮罩在审
| 申请号： | 201180072988.7 | 申请日： | 2011-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN103781935A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | M·哈尼卡;R·林德伯格;C·灿格尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;C23C8/04;C23C10/04;C23C2/00;C23C4/02;C23C4/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此叙述配置用以沉积层于一矩形基板上的遮罩结构，例如配置用以沉积层于矩形基板上的边缘排除遮罩。遮罩结构包括遮罩框，用于在层沉积过程中遮盖基板的边缘，其中遮罩框包括至少两个遮罩框侧边部分，于至少两个遮罩框侧边部分之间的角落区域形成角落，其中遮罩框是以与矩形基板的边缘重迭的方式成形，使得位于遮罩框侧边部分处的第一重迭宽度大于位于角落区域的第二重迭宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 角落 切除 | ||
【主权项】：
一种用以沉积层于矩形基板(100)上的遮罩结构(140)，包括：遮罩框，用于在层沉积过程中遮盖基板的边缘(120)，其中所述遮罩框包括至少两个遮罩框侧边部分(340)，于所述至少两个遮罩框侧边部分之间的角落区域(342)形成角落；其中所述遮罩框以与所述矩形基板的边缘重迭的方式成形，使得位于所述遮罩框侧边部分的第一重迭宽度大于位于所述角落区域的第二重迭宽度。
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