[发明专利]在测量工件的坐标时的误差修正和/或避免有效
申请号: | 201180073361.3 | 申请日: | 2011-07-08 |
公开(公告)号: | CN103782130A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | T·黑尔德;D·塞茨;R·萨格米勒;T·沃勒茨 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国奥*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于测量工件坐标和/或用于加工工件的组件,其中,所述组件具有第一部分(1)和可相对于所述第一部分(1)运动的第二部分(3),其中,这些部分(1,3)的可相对运动性除了可选地附加固定在所述组件上的探测器的可能发生的可运动性之外附加地给出,所述可能发生的可运动性在出于测量所述坐标的目的而机械地探测工件时通过所述探测器从中间位置偏转出来产生,其中,在所述第一或第二(3)部分上布置有一测量体(K1,K2)并且在另一部分上、即在所述第二或第一(1)部分上布置有至少一个传感器(s1…s5),其中,所述传感器(s1…s5)构造得用于相应于所述测量体(K1,K2)的位置、从而相应于所述第一(1)和第二(3)部分的相对位置产生测量信号。 | ||
搜索关键词: | 测量 工件 坐标 误差 修正 避免 | ||
【主权项】:
用于测量工件的坐标和/或用于加工工件的组件,其中,所述组件具有第一部分(1)和能够相对于所述第一部分(1)运动的第二部分(3),其中,这些部分(1,3)的可相对运动性除了可选地附加固定在所述组件上的探测器的可能发生的可运动性外附加地给出,所述可能发生的可运动性在机械地探测所述工件以便测量所述坐标时通过所述探测器从中间位置的偏转出来给出,其中,在第一(1)或第二部分(3)上布置有一测量体(K1,K2)并且在另一部分上、也就是说在第二(3)或第一部分(1)上布置有至少一个传感器(s1…s5),其中,所述传感器(s1…s5)构型得用于相应于所述测量体(K1,K2)的位置、从而相应于所述第一(1)和第二部分(3)的相对位置产生测量信号。
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