[发明专利]天线结构和等离子体生成装置有效
| 申请号： | 201180073518.2 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103959920A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李容官 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;褚海英 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及天线结构和等离子体生成装置。所述天线结构包括具有相同结构、并联连接且重叠布置的四个感应天线。所述感应天线包括：外上部，其布置在第一层的第一象限；内上部，其与所述外上部连接且布置于第一层的第二象限；内下部，其与所述内上部连接且布置于第二层的第三象限，所述第二层布置于所述第一层的下部；和外下部，其与所述内下部连接且布置于所述第二层的第四象限。RF电源供给至所述外上部的一端，且所述外下部的另一端接地。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 结构 等离子体 生成 装置 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体生成的天线结构，其包括：四个感应天线，四个所述感应天线具有相同的结构，彼此并联连接并且是重叠布置的，其中，所述感应天线包括：外上部，所述外上部布置在第一层的第一象限；内上部，所述内上部与所述外上部连接且布置在所述第一层的第二象限；内下部，所述内下部与所述内上部连接且布置在第二层的第三象限，所述第二层布置于所述第一层的下部；和外下部，所述外下部与所述内下部连接且布置在所述第二层的第四象限，其中，所述外上部的一端被供给有RF电源，且所述外下部的另一端接地。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于细美事有限公司，未经细美事有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180073518.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种能消除电芯压痕的Z 型叠片机
- 下一篇：柱形电池模块化组合装置
