[发明专利]闭环控制有效
| 申请号： | 201180075166.4 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103958723A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | T·德皮施;F-J·海勒;M·恩勒特;U·赫曼斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/56;H01J37/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了控制反应沉积工艺和相应组件和/或设备的方法。所述方法包括使用电源提供功率至阴极，提供电压设定点至电源，接收与提供至阴极的功率相关的功率值，和依据功率值控制工艺气体的流量以提供对于功率值的闭环控制。 | ||
| 搜索关键词： | 闭环控制 | ||
【主权项】：
一种控制反应沉积工艺的方法，包含：使用电源向阴极提供功率；向所述电源提供电压设定点；接收与提供至所述阴极的所述功率相关的功率值；和依赖于所述功率值控制工艺气体的流量以提供闭环控制。
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