[其他]一种用于加工半导体样品的系统

摘要

本申请涉及一种用于加工半导体样品的系统。一种用于加工半导体样品的系统，该系统包括光致发光成像设备和激光加工装置，其中光致发光成像设备包含：采用预定照度照射样品以响应照射从样品产生光致发光的照射光源；采集从样品发射的光致发光的至少一个图像的图像采集设备；和处理至少一个图像以获得关于样品中存在的或激光加工步骤在样品中引起的缺陷的信息的处理器；并且其中激光加工装置包括：对样品实施激光加工步骤的激光器；和控制激光器的控制器。该系统能够例如用于R&D环境以优化激光加工步骤，或用于太阳能电池生产线中激光加工步骤的在线实时工艺控制或质量控制。

主权项

一种用于加工半导体样品的系统，所述系统包括光致发光成像设备和激光加工装置，其中所述光致发光成像设备包含： 采用预定照度照射所述样品以响应所述照射从所述样品产生光致发光的照射光源； 采集从所述样品发射的光致发光的至少一个图像的图像采集设备；和 处理所述至少一个图像以获得关于所述样品中存在的或激光加工步骤在所述样品中引起的缺陷的信息的处理器； 并且其中所述激光加工装置包括： 对所述样品实施激光加工步骤的激光器；和 控制所述激光器的控制器。