[发明专利]薄膜体声波谐振器、通信器件和射频模块有效
| 申请号： | 201210000816.5 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102545827A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王建;张宗民 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器、通信器件和射频模块。该薄膜体声波谐振器包括衬底，所述衬底上依次设置有下电极层、压电薄膜和上电极层；所述衬底与下电极层之间层叠设置有2个或2个以上的空气隙。本发明实施例提供的薄膜体声波谐振器在具有较高功率容量的同时，可具有较小的体积和结构稳定性，可适用于大功率容量需求的应用中。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 通信 器件 射频 模块 | ||
【主权项】：
一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上依次层叠设置有下电极层、压电薄膜和上电极层；所述衬底与下电极层之间设置有2个或2个以上的空气隙。
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