[发明专利]带弯曲聚焦的电容式微机电超声传感器的制作方法无效
| 申请号： | 201210001354.9 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102530839A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 高毅品;陈力;黄勇力 | 申请（专利权）人： | 无锡智超医疗器械有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市无锡新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了带弯曲聚焦的电容式微机电超声传感器的制作方法，包括以下步骤：将组成电容式微机电传感器的器件层和基底制作为一体，在传感器基底和衬底之间放置垫片；对上述放置垫片的传感器加力进行弯曲，直到弯曲到所需的弯曲度；保持传感器的上述弯曲度。另一种方案为在基底形成空腔，将空腔的边界墙作为垫片；将另一个具有一定厚度的基片放在垫片上，覆盖了基底空腔：在基片上制作电容式微机电超声传感器；弯曲传感器，至所需的弯曲度。本发明的技术方案具有方法简单，精度高，成本低，适用大规模生产的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 弯曲 聚焦 电容 式微 机电 超声 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
带弯曲聚焦的电容式微机电超声传感器的制作方法，其特征为，制作方法包括以下步骤： （1）将组成电容式微机电传感器的器件层和基底作为一体，在传感器基底和衬底之间放置垫片；（2）对上述放置垫片的传感器加力进行弯曲，直到弯曲到所需的弯曲度；（3）保持传感器的上述弯曲度。
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