[发明专利]一种原子层沉积设备

摘要

本发明涉及一种原子层沉积设备，尤其是涉及一种使用集显示和控制于一体的嵌入式控制单元作为控制系统主控部件的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备，包括主控部件、电气控制部件、真空部件、加热部件和气路部件，主控部件分别与电气控制部件、真空部件、加热部件和气路部件连接，电气控制部件分别与真空部件、加热部件和气路部件连接，主控部件为集显示与控制于一体的控制设备。本发明采用集显示和控制于一体的主控部件代替传统的显示器+工控机+PLC（或控制板卡）的控制架构，使得设备结构简洁清晰、占用体积小、组装和维护简单方便、可靠性高，能够有效防止设备运行中意外事故的发生。

主权项

一种原子层沉积设备，其特征在于：包括主控部件、电气控制部件、真空部件、加热部件和气路部件，所述主控部件分别与所述电气控制部件、所述真空部件、所述加热部件和所述气路部件连接，所述电气控制部件分别与所述真空部件、所述加热部件和所述气路部件连接，所述主控部件为集显示与控制于一体的控制设备。