[发明专利]透光夹持式预对准机无效
| 申请号： | 201210002296.1 | 申请日： | 2012-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN103192463A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;李学威;曲道奎;徐方;孙义田;温燕修;何书龙;何伟全 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种透光夹持式预对准机，所述透光夹持式预对准机包括一机座、一装设在所述机座上的卡爪以及一检测所述晶圆上的缺口的传感器，所述卡爪包括至少两个卡爪接触单元、至少两个卡爪臂以及至少两个与所述卡爪接触单元和所述卡爪臂相连接的连接部，所述卡爪接触单元夹持所述晶圆，所述卡爪臂支撑所述晶圆，所述连接部是透光材料制成，所述传感器包括一光线发射端以及一光线接收端，所述光线发射端发射光线以检测所述缺口位置，在所述连接部夹在所述光线发射端、所述光线接收端中间，所述缺口位于所述连接部上方时，所述传感器检测出所述缺口所在的位置。相对现有技术，本发明能够避免预对准机卡爪遮挡晶圆缺口及传感器光线带来的重新夹持晶圆的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 透光 夹持 对准 | ||
【主权项】：
一种透光夹持式预对准机，所述透光夹持式预对准机包括一机座、一装设在所述机座上的卡爪以及一检测所述晶圆上的缺口的传感器，其特征在于：所述卡爪包括至少两个卡爪接触单元、至少两个卡爪臂以及至少两个与所述卡爪接触单元和所述卡爪臂相连接的连接部，所述卡爪接触单元夹持所述晶圆，所述卡爪臂支撑所述晶圆，所述连接部是透光材料制成，所述传感器包括一光线发射端以及一光线接收端，所述光线发射端发射光线以检测所述缺口位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳新松机器人自动化股份有限公司，未经沈阳新松机器人自动化股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210002296.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
