[发明专利]晶圆中心预对准方法

摘要

一种晶圆中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；光学探测器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值；数据采样、数据转换、获取当前电机码盘值、直角坐标拟合、三点确定一个圆；通过多次进行三点拟合圆求均值而得到当前晶圆圆心位置。本发明晶圆中心预对准方法中，通过三点拟合方法求晶圆的中心的位置，该方法不受单个采样数据误差的影响，且数据的采样很方便，并能充分的利用采样数据，简单而高效的计算出晶圆的中心。

主权项

一种晶圆中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；光学探测器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值，其特征在于：该方法还包括以下步骤：数据采样：所述旋转台电机带动所述晶圆旋转，所述光学探测器采集所述晶圆旋转一周过程中的边缘数据，并同时获取相对应的旋转台电机的码盘值数据；数据转换：去除缺口附近数据后，将光学探测器采样到的边缘数据转换成边界点距离电机旋转中心的实际长度数据；获取当前电机码盘值：获取旋转台电机在当前停止状态下的码盘值，以此作为直角坐标拟合的基准码盘值；直角坐标拟合：根据电机基准码盘值，将采样得到的电机码盘值数据转换为角度数据，根据角度数据，就可由边界点长度数据计算出在当前直角坐标系下的各采样点坐标，如此完成将采样数据转换为直角坐标数据；三点确定一个圆：采样三个点，用三点圆拟合方法求出一拟合圆在所述直角坐标下的圆心位置。