[发明专利]高响应灵敏度悬臂梁结构及其制作方法无效
| 申请号： | 201210002721.7 | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103193191A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞文;焦斌斌;李志刚;孔延梅;卢狄克;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 昆山光微电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了高响应灵敏度悬臂梁结构及其制作方法，该高响应灵敏度悬臂梁结构，包括非金属层和金属层，所述金属层位于所述非金属层上侧面上，所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。该悬臂梁结构制作简单，通过不同的各项异性刻蚀条件可制作出不同的褶皱悬臂梁结构，从而具有不同的响应灵敏度，从而为不同的应用提供了更大的选择空间，同时增加的褶皱结构使得双材料之间的粘附力得到增强。 | ||
| 搜索关键词： | 响应 灵敏度 悬臂梁 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种高响应灵敏度悬臂梁结构，包括非金属层(1)和金属层(2)，所述金属层位于所述非金属层上侧面上，其特征在于：所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。
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