[发明专利]一种提高微细流道加工质量的系统和方法有效
| 申请号： | 201210003473.8 | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102554589A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;赵鸿;唐晓军;王超;徐鎏婧;刘磊;刘洋;梁兴波;陈三斌 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | B23P17/00 | 分类号： | B23P17/00;B23Q17/00;B23Q15/00 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 梁军 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高微细流道加工质量的系统和方法，所述系统包括：微细流道加工装置、待加工工件、至少一面由所述待加工工件组成的检测腔体、与所述检测腔体密封连接的恒压流体产生装置、以及加工微细流道时固定所述待加工工件的夹具；所述微细流道加工装置，用于在待加工工件上，从检测腔体外侧向检测腔体内侧加工微细流道；所述恒压流体产生装置，用于在加工微细流道过程中，向检测腔体内充满恒定压力的流体；其中，腔内流体恒定压力高于加工侧所属环境的压力。本发明在非加工侧施加一个正压力，保证在加工过程中产生的加工碎屑不会进入微流道的内部，从而避免了加工碎屑影响加工质量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 微细 加工 质量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种提高微细流道加工质量的系统，其特征在于，包括：微细流道加工装置、待加工工件、至少一面由所述待加工工件组成的检测腔体、与所述检测腔体密封连接的恒压流体产生装置、以及加工微细流道时固定所述待加工工件的夹具；所述微细流道加工装置，用于在所述待加工工件上，从所述检测腔体外侧向检测腔体内侧加工微细流道；所述恒压流体产生装置，用于在加工微细流道过程中，向所述检测腔体内充满恒定压力的流体；其中，腔内流体恒定压力高于加工侧所属环境的压力。
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