[发明专利]基板检查系统无效
| 申请号： | 201210003880.9 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102608121A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 冈平裕幸 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 系统 | ||
【主权项】：
一种基板检查系统，其用于用多种检查方法对被检查对象基板进行检查，其特征在于，该基板检查系统包括：自动检查装置，其用于利用摄像部拍摄上述被检查对象基板而进行检查；架台，其具有横跨上述自动检查装置的门型形状的腿部；人工宏观检查装置，其配置在上述架台上，用于直视上述被检查对象基板而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于上述自动检查装置和上述人工宏观检查装置输入、输出上述被检查对象基板，上述人工宏观检查装置借助上述架台独立于上述自动检查装置地配置在上述自动检查装置的上方。
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