[发明专利]基于标记周期级次光强值累加判断寻找对准标记的方法及对准系统有效
| 申请号： | 201210005213.4 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103197505A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 韩悦;张磊;赵新 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于标记周期级次光强值累加判断寻找对准标记的方法，其特征在于，包括：获得多周期标记的各周期一级次光的光强并对该光强累加获得一光强信号，通过该光强信号获得对准标记位置；根据设定的各周期经验阈值筛选该光强信号中光强值异常的毛刺点；对该光强信号进行最小阈值检查，若不满足最小阈值则进行位置修正，若满足最小阈值则将各周期一级光强叠加；光强叠加后检测最高峰值点和左右各峰值点斜率是否满足要求，若不满足则进行位置修正，若满足则该点为通过光强叠加所获得的标记位置；计算该标记位置与下发的标记期望位置的绝对值以判断对准标记是否寻找成功。本发明同时公开一种对准系统，该对准系统采用基于标记周期级次光强值累加判断寻找对准标记的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 标记 周期 级次 光强值 累加 判断 寻找 对准 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种基于标记周期级次光强值累加判断寻找对准标记的方法，其特征在于，包括：(a)获得多周期标记的各周期一级次光的光强并对所述光强累加获得一光强信号，通过所述光强信号获得对准标记位置；(b)根据设定的各周期经验2.筛选所述光强信号中光强值异常的毛刺点；(c)对所述光强信号进行最小阈值检查，若光强检测值小于最小阈值则进行位置修正，若光强检测值大于或等于最小阈值则将各周期一级光强叠加；(d)光强叠加后检测最高峰值点和左右各峰值点斜率 ，其中左峰值点与最高3.点斜率为K左1，右峰值点与最高峰值点斜率为K右1，如果KMIN<| K左1|
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