[发明专利]沉积源和包括沉积源的有机层沉积装置有效
| 申请号： | 201210008397.X | 申请日： | 2012-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN102586738A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 崔永默;康熙哲;金綵雄;金茂显;李东规 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种沉积源和有机层沉积装置，其可以简单地用于制造大规模的大尺寸显示装置，并且可以防止或者基本防止沉积源喷嘴在沉积材料的沉积过程中被阻塞，从而提高制造产量和沉积效率。沉积源包括具有多个第一沉积源喷嘴的第一沉积源；以及具有多个第二沉积源喷嘴的第二沉积源，其中所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴朝向彼此倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 包括 有机 装置 | ||
【主权项】：
一种沉积源，包括：第一沉积源和第二沉积源，均沿第一方向设置；第一沉积源喷嘴单元，位于所述第一沉积源的侧面，并且包括在所述第一方向设置的多个第一沉积源喷嘴；第二沉积源喷嘴单元，位于所述第二沉积源的侧面，并且包括在所述第一方向设置的多个第二沉积源喷嘴；一对第一突出反射器，被设置在所述多个第一沉积源喷嘴的相对两侧，其中所述多个第一沉积源喷嘴位于所述第一突出反射器之间；以及一对第二突出反射器，被设置在所述多个第二沉积源喷嘴的相对两侧，其中所述多个第二沉积源喷嘴位于所述第二突出反射器之间，其中所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴朝向彼此倾斜。
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