[发明专利]半导体芯片和用于制造半导体芯片的方法有效
申请号: | 201210009559.1 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN102593070B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | M.沃佩尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 臧永杰,卢江 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及半导体芯片和用于制造半导体芯片的方法。半导体芯片包括第一主面和与所述第一主面相对的第二主面。侧面连接第一和第二主面。所述侧面至少部分地用防EBO复合物和/或表面能量减少复合物覆盖。 | ||
搜索关键词: | 半导体 芯片 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体芯片,包括:第一主面;与所述第一主面相对的第二主面;连接所述第一和第二主面的侧面;和至少部分地覆盖所述侧面的防EBO复合物,所述复合物沿着侧面具有相同的厚度。
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