[发明专利]镁镍氧基多波段日盲区紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种镁镍氧基多波段日盲区紫外探测器，包括沿垂直方向依次设置的衬底，底层NiO薄膜，两层以上的多层镁镍氧薄膜，帽层NiO薄膜，第一金属电极（欧姆接触）和第二金属电极（肖特基接触），所述的多层镁镍氧薄膜由沿垂直方向对称分布的Mgx1Ni1-x1O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx3Ni1-x3O……MgxmNi1-xmO、MgO、MgxmNi1-xmO……Mgx3Ni1-x3O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx1Ni1-x1O薄膜构成，其中，0＜x1＜x2＜x3＜……＜xm＜1，MgO薄膜为中间层，多层镁镍氧薄膜中的其余薄膜相对于中间层沿垂直方向对称分布。其制备方法为：在衬底表面以下列生长工艺中的一种或多种依次生长薄膜和电极，所述生长工艺采用脉冲激光沉积法、磁控溅射法、电子束蒸发法或分子束外延法。本发明的优点是：通过调节外加偏压，可以实现多波段日盲区紫外探测，实现了器件的集成，单个探测器即可实现多个日盲区波段的探测，相对于分立器件具有低成本，工艺简单，重复性好，易于实现等优点。

主权项

一种镁镍氧基多波段日盲区紫外探测器，其特征在于：包括沿垂直方向依次设置的衬底(1)， 底层NiO薄膜(2)，多层镁镍氧薄膜(3)，帽层NiO薄膜(4)，所述探测器还设有第一金属电极(5)和第二金属电极(6)，第一金属电极(5)设置在底层NiO薄膜(2)上，第二金属电极(6)设置在帽层NiO薄膜(4)上。