[发明专利]有机发光显示器蒸镀方法在审
| 申请号： | 201210010685.9 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205674A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有机发光半导体蒸镀方法，主要解决现有OLED制造技术中，蒸镀时有机颗粒由于掩模板开口壁的遮蔽而无法达到基板的技术问题，本发明通过采用一种有机发光半导体的蒸镀方法，蒸镀用掩模板形状为四边形的金属板，所述掩模板具有ITO面层和蒸镀面层两层结构，所述掩模板上具有贯通ITO面层和蒸镀面层的开口，ITO面层的开口尺寸小于蒸镀面层的开口尺寸，沿掩模板的厚度方向的横向剖面上，开口形状为梯形的技术方案，较好地解决了该问题，可用于有机发光二级管的工业生产中。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光 显示器 方法 | ||
【主权项】：
一种有机发光半导体蒸镀方法，包括如下几个步骤：把蒸镀用掩模板的ITO面和ITO半导体玻璃面结合，把掩模板的蒸镀面对应有机蒸镀源；蒸发有机材料，使有机材料通过掩模板上的开口，附着到和ITO半导体玻璃面上；分离掩模板和ITO半导体玻璃，完成蒸镀；其中，所述掩模板形状为四边形的金属板，所述掩模板具有ITO面层和蒸镀面层两层结构，所述掩模板上具有贯通ITO面层和蒸镀面层的开口，ITO面层的开口尺寸小于蒸镀面层的开口尺寸，沿掩模板的厚度方向的横向剖面上，开口形状为梯形。
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