[发明专利]吸附台无效
| 申请号： | 201210015592.5 | 申请日： | 2012-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102608872A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 吉田茂;落合亮 | 申请（专利权）人： | 株式会社拓普康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种吸附台，不会导致作业时间的增大和产品精度的降低，而能够以平坦的状态保持工件。吸附台(40)，使工件(22)保持在平坦的载放面(40b)上，在该工件(22)上曝光光被成像而使既定的掩模图形曝光，其中，包括：固定吸附机构(60)，可吸附工件(22)而使工件(22)相对载放面(40b)的姿态固定；平面吸附机构(70)，可吸附工件(22)而与载放面(40b)面抵接，平面吸附机构(70)具有多个在载放面(40b)上开设的平面吸附孔(71)，从载放面(40b)上的任意一点到载放面(40b)的外缘，按照顺序进行利用各平面吸附孔(71)的吸附动作。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 | ||
【主权项】：
一种吸附台，使工件保持在平坦的载放面上，在该工件上曝光光被成像而使既定的掩模图形曝光，其特征在于，包括：固定吸附机构，可吸附所述工件而使所述工件相对所述载放面的姿态固定，平面吸附机构，可吸附所述工件而使所述工件的面与所述载放面抵接，所述平面吸附机构具有多个在所述载放面上开设的平面吸附孔，从所述载放面上的任意一点起朝向所述载放面的外缘，按顺序进行利用所述平面吸附孔的吸附动作。
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