[发明专利]工作台及使用该工作台的曝光装置无效
| 申请号： | 201210018265.5 | 申请日： | 2012-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102608873A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 太田尚树 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在通过真空吸附来吸附保持工件的工作台中，即使是中央部变形成凸的工件，也能矫正其翘曲而以整个面吸附保持。若输送到工件(W)，则销(5a)上升并接受工件后，销(5a)下降。由此工件置于工作台(4)上。轴环部件(7)也与销(5a)一起下降，轴环部件(7)的下表面密接在盖部件(6)的上表面。通过轴环部件(7)与盖部件(6)密接，封闭工作台的贯穿孔(4c)。在此状态下，若对真空吸附孔(4b)赋予真空，则工件与工作台之间的空间减压，工件吸附保持于工作台。在销(5a)下降时，通过轴环部件(7)和盖部件(6)封闭贯穿孔，因此大气不会通过贯穿孔流入，即使工件变形成如将碗倒扣，也能够可靠地吸附保持工件。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 使用 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种工作台装置，其特征在于，具备：工作台，在表面形成有被赋予真空的真空吸附孔，并且在上下方向上形成有贯穿孔；销，在上述贯穿孔内上下移动；以及销上下移动机构；在工作台的贯穿孔的下侧开口，设有形成有如下开口的盖部件，该开口比在贯穿孔内上下移动的销的直径大，而比贯穿孔的直径小；在如下位置上安装有密接于上述销、比上述贯穿孔的直径小且比上述盖部件的开口的直径大的轴环部件，上述位置为：在上述销下降时，轴环部件的下表面密接于盖部件的上表面。
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