[发明专利]决定用以控制工件离子植入的相对扫描速度有效
| 申请号： | 201210018367.7 | 申请日： | 2012-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102623289A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 沈政辉;万志民 | 申请（专利权）人： | 汉辰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种决定用以控制工件离子植入的相对扫描速度，要选择使用离子植入设备的离子束，扫描实际工件的相对速度分布特性，首先，模拟一虚拟工件的植入状况。基于一离子束分布特性与一相对速度分布特性，计算虚拟工件上的剂量分布。然后，基于所计算的剂量分布与用于计算该剂量分布的相对速度分布特性，决定一新相对速度分布特性。然后，使用该新相对速度分布特性，计算一新剂量分布。反复决定新相对速度分布特性与计算相应的新剂量分布，直到新剂量分布符合一个或多个预定标准。当新剂量分布符合一个或多个预定标准时，储存新相对速度分布特性作为选定相对速度分布特性。 | ||
| 搜索关键词： | 决定 用以 控制 工件 离子 植入 相对 扫描 速度 | ||
【主权项】：
一种使用一离子植入设备的一离子束，离子植入一实际工件的方法，特其征在于该方法包含：模拟一虚拟工件的离子植入，借以决定一选定相对速度分布特性，该选定相对速度分布特性应用于使用该离子植入设备的该离子束扫描该实际工件，其中，模拟包含：(a)基于至少一离子束分布特性以及该离子束与该虚拟工件之间的一相对速度分布特性，计算该虚拟工件上的一剂量分布；(b)基于至少所计算的该剂量分布与用于计算该剂量分布的该相对速度分布特性，决定该离子束与该虚拟工件之间的一新相对速度分布特性；(c)基于至少该离子束分布特性与步骤(b)所决定的该新相对速度分布特性，计算该虚拟工件上的一新剂量分布；(d)如果步骤(c)的该新剂量分布不符合一个或多个预定标准时，重复步骤(b)与步骤(c)；以及(e)当所计算的该虚拟工件上的该新剂量分布符合该一个或多个预定标准时，储存步骤(b)所决定的该新相对速度分布特性作为该选定相对速度分布特性；以及应用步骤(e)所储存的该新相对速度分布特性，借由使用该离子植入设备的该离子束扫描该实际工件一次或多次，植入该实际工件。
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