[发明专利]喷淋头的清洗方法无效
| 申请号： | 201210019422.4 | 申请日： | 2012-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103071647A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 叶芷飞 | 申请（专利权）人： | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B7/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种喷淋头的清洗方法，所述方法在反应腔室的外部对喷淋头进行非原位(non-in-situ clean)清洗，所述方法不需要人手接触喷淋头表面，提高了MOCVD设备的产能，改善了清洗的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种喷淋头的清洗方法，所述喷淋头用于在反应腔室内进行化学气相沉积工艺，其特征在于，在所述化学气相沉积工艺完成后，在反应腔室外部对喷淋头进行非原位清洗。
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