[发明专利]一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件

摘要

本发明公开了一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件，涉及降噪技术与能量收集技术，包括微穿孔硅片、导电支架、敏感压电薄膜、引出电极、薄膜支撑体。微穿孔硅片是吸声降噪的结构；导电支架既可形成共振吸声结构所需的空腔，又可作为连接压电薄膜上电极的结构；下方具有压电薄膜的硅片一方面将共振腔封闭，另一方面硅片上悬空的压电薄膜能够在声波的作用下不断振动，产生极化电荷，并通过上下两层薄膜电极将电荷收集起来。本发明利用微机械电子加工技术，将硅片制作成微穿孔板结构以降低噪声，同时将噪声中所包含的声能作为能量收集器件的能量来源，将声能转化为电能，使降噪与发电互为促进，具有结构简单、可批量制备的特点。

主权项

一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件，包括微穿孔硅片(1)、导电支架(2)、敏感压电薄膜(3)、引出电极(4)、薄膜支撑体(5)；其特征是：微穿孔硅片(1)和薄膜支撑体(5)分别封闭式固接于筒状导电支架(2)两端，共同围成一封闭空间，形成共振腔；微穿孔硅片(1)上设有多个均布的通孔，微穿孔硅片(1)固置于导电支架(2)的上方，朝向声波入射的方向；薄膜支撑体(5)固置于导电支架(2)的下方，处于共振腔的底部；多个敏感压电薄膜(3)固接于薄膜支撑体(5)内侧面，排成阵列；多个敏感压电薄膜(3)的上下表面分别与引出电极(4)电连接，多个引出电极(4)分别与外电路电连接，将电荷传导出去；微穿孔硅片(1)、导电支架(2)、敏感压电薄膜(3)与薄膜支撑体(5)共同围成的封闭空间，使之成为微穿孔硅片(1)的共振吸声结构；敏感压电薄膜(3)、引出电极(4)与薄膜支撑体(5)构成薄膜式振动能量收集结构。