[发明专利]透射率测定装置和透射率测定方法有效
| 申请号： | 201210020423.0 | 申请日： | 2012-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN102628804A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 石川晋;园田恒彦;饭塚隆之;田中淳一;吉田光一郎 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供-种透射率测定装置和透射率测定方法，能够抑制由于内部反射光而导致的误差并高精度地对测定对象区域的透射率进行测定。透射率测定装置由以下部件构成：光源装置，其射出被检光；第-光学系统，其会聚该被检光并在测定对象上形成点；第二光学系统，其对透射过测定对象的被检光进行会聚，形成点的共轭像；光圈，其配置在共轭像的形成位置附近；以及光检测单元，其对透射过光圈的被检光进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 透射率 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种透射率测定装置，其特征在于，该透射率测定装置具有：光源装置，其射出被检光；第一光学系统，其会聚所述被检光并在测定对象上形成点；第二光学系统，其对透射过所述测定对象的被检光进行会聚，形成所述点的共轭像；光圈，其配置在所述共轭像的形成位置附近；以及光检测单元，其对透射过所述光圈的被检光进行检测。
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