[发明专利]化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法有效
申请号: | 201210021320.6 | 申请日: | 2012-01-31 |
公开(公告)号: | CN102584019A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 李西平;杨振渤;舒尊启;杜震宇 | 申请(专利权)人: | 绥中滨海经济区红杉科技有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00;C03C17/245 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 赵俊宏 |
地址: | 125200 辽宁省葫芦岛市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明针对现有技术中镀制玻璃减反射膜时能源消耗大,定尺玻璃边部厚度偏薄至使玻璃废品率高的不足,提供一种化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法,该设备包括减反射膜原料供料装置、设置有汽化室的减反射膜液相原料汽化装置、废气处理装置、设置有喷嘴及排废气通道的镀膜器以及恒温装置,所述减反射膜原料供料装置与所述汽化装置的汽化室管连通,所述的汽化室与所述镀膜器的喷嘴管连通,所述排废气通道与所述废气处理装置管连通;本发明方法是在玻璃成型后、退火前镀制玻璃减反射膜,采用该设备及方法镀制的玻璃减反射膜膜层质量优秀、能耗低,生产规模大。 | ||
搜索关键词: | 化学 沉积 法镀制 玻璃 减反射膜 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备,其特征在于,包括减反射膜原料供料装置(11)、设置有汽化室的减反射膜液相原料汽化装置(19)、废气处理装置(15)、设置有喷嘴(8)及排废气通道(10)的镀膜器(17)以及恒温装置,所述减反射膜原料供料装置(11)与所述汽化装置(19)的汽化室管连通,所述的汽化室与所述镀膜器(17)的喷嘴(8)管连通,所述排废气通道(10)与所述废气处理装置(15)管连通。
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