[发明专利]用于处理酸性蚀刻废物体系的回收系统及回收方法无效
| 申请号： | 201210025102.X | 申请日： | 2012-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN103215593A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 施道可;范琼;潘加永 | 申请（专利权）人： | 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/24;C30B33/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张萍;李炳爱 |
| 地址： | 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于处理酸性蚀刻废物体系的回收系统及回收方法。所述回收系统包括蒸发器、电解装置和冷凝装置。本发明用于处理酸性蚀刻废物体系的回收系统及回收方法可以回收已用于制绒或蚀刻的蚀刻液，能减少环境污染，提高经济效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 酸性 蚀刻 废物 体系 回收 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于处理酸性蚀刻废物体系的回收系统，所述酸性蚀刻废物体系来自用于太阳能电池硅片制绒或蚀刻的蚀刻槽，包括由氢氟酸、硝酸、氟硅酸、硅屑和水组成的蚀刻废液，其特征在于，所述回收系统包括：用于分离来自所述蚀刻槽的蚀刻废液中的硅屑的第一分离装置；与所述第一分离装置流体相通的第一蒸发器；与所述第一蒸发器流体相通的第二蒸发器；与所述第二蒸发器流体相通的第三蒸发器；分别与所述第三蒸发器和第二蒸发装置流体相通的电解装置；和分别与所述第一蒸发器、第二蒸发器和第三蒸发器流体相通的冷凝装置。
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