[发明专利]压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表

摘要

本发明的压电振动片(4)的制造方法，用于使用光刻技术在压电板的表面形成电极，其特征在于，具有：形成激振电极(13、14)的电极形成工序，曝光光致抗蚀剂(掩模材)的曝光工序(S125)，将光致抗蚀剂浸渍在显影液而选择性地除去而形成掩模图案的显影工序(S127)，以及形成激振电极(13、14)的蚀刻工序(S129)，在曝光工序(S125)与显影工序(S127)之间，具有浸渍工序(S126)，将涂敷有光致抗蚀剂的压电板浸渍在可溶于显影液且比显影液粘度低的第1液体。从而提供能够使显影液充分地浸入叉部而精度良好地形成掩模图案，而防止电极的形成不良的压电振动片的制造方法，以及通过该制造方法制造的压电振动片，使用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。

主权项

一种压电振动片的制造方法，用于使用光刻技术在形成有压电振动片的外形的压电板的表面形成电极，其特征在于，所述压电振动片具备：并排配置的一对振动臂部；基部，连接有所述一对振动臂部；叉部，在所述振动臂部和所述基部的连接部形成；以及第1电极及第2电极，至少分别形成于夹着所述叉部而对置的所述一对振动臂部的侧面，形成所述各电极的电极形成工序具有：金属膜成膜工序，在所述压电板的表面进行金属膜成膜；掩模材涂敷工序，与所述金属膜重叠地涂敷掩模材；曝光工序，对所述掩模材进行曝光；显影工序，将所述掩模材浸渍在显影液而选择性地除去，形成用于形成所述各电极的掩模图案；以及蚀刻工序，隔着所述掩模图案进行所述金属膜的蚀刻，形成所述各电极，在所述曝光工序与所述显影工序之间，具有将涂敷有所述掩模材的所述压电板浸渍在可溶于所述显影液且比所述显影液粘度低第1液体的浸渍工序。