[发明专利]用于可移动兆声晶圆喷头的装置和方法有效
| 申请号： | 201210027831.9 | 申请日： | 2012-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN102974563A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张简瑛雪;古绍延;叶明熙;杨棋铭;林进祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;房岭梅 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 用于可移动兆声晶圆喷头的方法和装置。公开了一种方法，包括将可移动喷头置于晶圆表面上方，可移动喷头具有暴露晶圆表面的一部分的开放底部；通过可移动喷头的底部将液体施加在晶圆表面上方；以及以预定的扫描速度移动可移动喷头，从而穿过晶圆表面，在晶圆表面上方移动的同时，将液体施加给晶圆表面。在其他实施例中，方法包括：提供用于将兆声能量施加给晶圆表面的换能器。公开了包括可移动兆声晶圆喷头的装置实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 移动 兆声晶圆 喷头 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：将可移动喷头置于晶圆表面上方，所述可移动喷头具有暴露所述晶圆表面的一部分的开放底部；通过所述可移动喷头的所述开放底部将液体施加在所述晶圆表面上方；以及以预定的扫描速度移动所述可移动喷头从而穿过所述晶圆表面，在所述晶圆表面上方移动的同时将所述液体施加在所述晶圆表面上。
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