[发明专利]一种含有金属的半导体装置及其制备方法有效
申请号: | 201210028179.2 | 申请日: | 2012-01-14 |
公开(公告)号: | CN103208514B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 朱江;盛况 | 申请(专利权)人: | 盛况 |
主分类号: | H01L29/12 | 分类号: | H01L29/12;H01L29/15;H01L21/02 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明了一种含有金属的半导体装置,通过金属改变半导体材料原有的能级分布,从而改变半导体材料电特性;本发明还涉及含有金属的半导体装置的制备方法;本发明的半导体装置是制造半导体器件和集成电路的基本结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 含有 金属 半导体 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种含有金属的半导体装置,其特征在于:包括:半导体材料,为第一导电半导体材料,在其中设置了多个平行金属层,金属层由网格结构或多个平行线状金属材料构成,金属层之间半导体材料通过金属层内空缺互连,金属材料与半导体材料之间为肖特基势垒结。
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