[发明专利]光源单元的排风系统及光刻机无效
| 申请号： | 201210030413.5 | 申请日： | 2012-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102540764A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈艳艳;王剑锋;王琳 | 申请（专利权）人： | 上海先进半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21V29/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光源单元的排风系统，包括排风管，所述排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，所述光源单元的排风系统还包括一鼓风机，所述鼓风机设置于所述排风管上。本发明还公开了一种光刻机，包括光源单元、光路传输系统、曝光系统与光源单元的排风系统，所述光源单元发出的光经光路传输系统传递到曝光系统，光源单元的排风系统包括排风管和鼓风机，排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，鼓风机设置于排风管上。通过在排风管上增设鼓风机，可以实现对光源单元的稳定、有效排风，避免光源单元由于热量不能及时排出而出现非正常灭灯，从而保护光源单元，同时可避免光刻机因光源单元非正常灭灯出现停机现象。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 单元 系统 光刻 | ||
【主权项】：
一种光源单元的排风系统，包括排风管，所述排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，其特征在于，所述光源单元的排风系统还包括一鼓风机，所述鼓风机设置于所述排风管上。
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