[发明专利]用于化学机械抛光的互穿网络有效
| 申请号： | 201210031219.9 | 申请日： | 2008-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN102554767A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | G·P·马尔多尼 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 樊云飞 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学机械抛光垫，其中该化学机械抛光垫具有抛光层，该抛光层含有包括连续的耐久性相和基本上共-连续的不稳定性相的互穿网络。本发明还提供了制造该化学机械抛光垫的方法和使用该化学机械抛光垫抛光基材的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 网络 | ||
【主权项】：
一种用于抛光选自磁性基材、光学基材和半导体基材中的至少一种的基材的化学机械抛光垫，所述抛光垫包括：包括互穿网络的抛光层，其中所述互穿网络含有连续的耐久性相和基本上共‑连续的不稳定性相；其中所述连续的耐久性相与所述共‑连续的不稳定性相非共价连接，其中所述耐久性相形成一个三维网络，该三维网络含有多个相互连接的抛光元件，这些抛光元件限定网络状的孔隙区域；所述连续的耐久性相包含多个六面体单元室，所述单元室包括多个相互连接的抛光元件，所述抛光元件限定出网络状的孔隙区域；其中各个六面体单元室包括六个面，其中各个面是正方形的或长方形的；其中所述基本上共‑连续的不稳定性相被安排在所述网络状的孔隙区域中；其中所述抛光表面适合抛光所述基材。
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