[发明专利]降低透镜加热效应的方法以及提升透镜的成像性能的方法有效
| 申请号： | 201210031555.3 | 申请日： | 2012-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN102736436A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 周建明;史考特·莱特;丹·米尔沃德;何元;卡弗里·詹;勾力晶;张自淑;安东·德维利尔斯;麦可·凯悦 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种降低透镜于成像程序中的透镜加热效应的方法，包含有：依据照明源与光掩膜设计来决定透镜上多个热负载位置、依据所述多个热负载位置来得到透镜响应特性，以及利用所述多个热负载位置与所述透镜响应特性来产生透镜加热敏感地图(lens heating sensitivity map)。本发明所提出的系统与方法，可减轻透镜热特征(heat signature)却基本上不会影响成像性能。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 透镜 加热 效应 方法 以及 提升 成像 性能 | ||
【主权项】：
一种降低一透镜于一成像程序中的透镜加热效应的方法，其特征是，包含有：依据一照明源与一光掩膜设计来决定所述透镜上多个热负载位置；依据所述多个热负载位置来得到一透镜响应特性；利用所述多个热负载位置与所述透镜响应特性来产生一透镜加热敏感地图；以及利用所述透镜加热敏感地图来置放至少一附加极点于所述透镜上的一特定位置，其中所述附加极点会产生一个用来降低透镜加热效应的绕射图谱。
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