[发明专利]太阳能电池刻蚀废物体系的处理方法及处理装置无效
申请号: | 201210032360.0 | 申请日: | 2012-02-14 |
公开(公告)号: | CN103241784A | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 施道可;范琼;潘加永;杨亚琴;C.贝尔瑙尔 | 申请(专利权)人: | 库特勒自动化系统(苏州)有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | C02F1/04 | 分类号: | C02F1/04;C02F1/20;B01D5/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张萍;李炳爱 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池刻蚀废物体系的处理方法及处理装置。所述方法包括使废物体系中的可挥发性气体挥发并加热残余废液。本发明处理方法及处理装置可实现太阳能电池刻蚀液的循环利用,从而减少刻蚀液的消耗,消除清洁废液和有毒废气的排放,且由于使刻蚀加工稳定而提高电池效率,从而提高经济效益并保护环境。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 刻蚀 废物 体系 处理 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池刻蚀废物体系的处理方法,所述废物体系中主要包含HF、HCl、H2SiF6和水,其特征在于,所述处理方法包括如下步骤:A) 使废物体系中的可挥发性气体挥发,以得到挥发的废气和残余废液;B) 加热残余废液,使得其中发生如下反应:H2SiF6→SiF4+2HFSiF4+3H2O→H2SiO3+4HF并蒸发所有挥发性气体以得到蒸发的废气;C) 将来自步骤A)的挥发的废气和来自步骤B)的蒸发的废气混合并冷凝得到冷凝液;和D) 将步骤C)得到的冷凝液与水混合。
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