[发明专利]用于检测离子源污染的分析器有效
| 申请号： | 201210033028.6 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN103247508A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 许飞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测离子源污染的分析器，包括离子筛选管，还包括控制器，所述离子筛选管的侧壁上设有若干相互隔离且并排的石墨条，所述控制器与各石墨条相连接，所述各石墨条接收单种杂质离子，所述控制器时时监测各石墨条上的杂质离子用于检测离子源污染。本发明在离子筛选管侧壁上设有相互隔离并排的石墨条，由于杂质离子的离子运动半径不同，因而会落在分析器的离子筛选管侧壁上的不同位置，即不同的石墨条会接收到不同的杂质离子，各石墨条后端连接控制器，检测各石墨条上的电流，监测杂质离子是否有异常，从而判断离子源是否有污染或是否不稳定，进而避免大规模的产品污染。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 离子源 污染 分析器 | ||
【主权项】：
一种用于检测离子源污染的分析器，包括离子筛选管，其特征在于：还包括控制器，所述离子筛选管的侧壁上设有若干相互隔离且并排的石墨条，所述控制器与各石墨条相连接，所述各石墨条接收单种杂质离子，所述控制器时时监测各石墨条上的杂质离子用于检测离子源污染。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210033028.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多用途天线架
- 下一篇：一种耦合同轴电缆及探测安防系统
