[发明专利]碲锌镉与金属界面的透射电子显微镜样品制备方法

摘要

本发明公开了一种碲锌镉与金属界面的透射电子显微镜样品制备方法，用于解决现有的在制备CdZnTe与金属界面TEM样品时极易发生样品碎裂而导致废品率高的技术问题。技术方案是对CdZnTe单晶体进行线切割、清洗、抛光后，进行化学腐蚀；在电阻蒸发镀膜机中制备金属电极；将样品对粘后，在加热台上烘烤；然后沿粘接缝隙的法线方向进行磨抛减薄后进行双面抛光，在其中一面粘接铜载网后，用手动研磨器减薄样品，最后采用Gatan 691型离子减薄仪进行减薄直至样品击穿。由于采用多片粘接和手动研磨器以高标号的砂纸进行研磨抛光，经过减薄和抛光，从而在最大程度上降低在减薄过程中对界面区域造成的损伤，提高了样品制备的成功率。样品制备成功率由背景技术的30％～40％提高到60％～70％。

主权项

一种碲锌镉与金属界面的透射电子显微镜样品制备方法，其特征在于包括以下步骤：(a)采用线切割的方式将CdZnTe晶体切割为薄片，通过研磨使所有待用CdZnTe晶片厚度相同，然后进行清洗、抛光，并在2％的Br‑MeOH中进行腐蚀，得到经过前处理的CdZnTe晶片3～5片；(b)在电阻蒸发镀膜机中制备金属电极，并进行快速退火；(c)将3～5片CdZnTe以电极面相对的方式进行对粘并用夹具加紧，在100℃～150℃下烘烤15～20小时，得到待减薄的TEM样品；(d)采用1500#、2000#、3000#和5000#砂纸逐渐减薄样品至厚度为100μm，将其中一面进行抛光，并粘接铜载网；(e)采用手动研磨器对样品进行最后的减薄至50μm以下，然后进行离子减薄直至样品被击穿，完成样品的制备。