[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积加热器

摘要

本发明公开了一种金属有机化合物化学气相沉积加热器，包括支座，所述支座上设有绝缘层，所述绝缘层上设置有若干支架，所述支架上连接有加热体。电阻丝布置更均匀，温度均匀性高；承载电流的截面积增加，功率高，可以实现快速的升温和降温；矩形截面的加热丝排布好后，加热平面的高低一致性非常好；制造工艺简单，成本比板材加工的加热体大幅降低；单相阻值便于调整，保温时的单相加热加热功率的自动化控制更容易，提高温度均匀性；当需要增大加热面积实现更多芯片沉积，加热面积可以用增加圈数N来增加加热面积，成本相对较低，而且容易实现。

主权项

金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：包括支座(4)，所述支座(4)上设有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)上设置有若干支架(2)，所述支架(2)上连接有加热体(1)。