[发明专利]玻璃微粒堆叠体的制造方法

摘要

本发明提供一种玻璃微粒堆叠体的制造方法，其可以在抑制异物的附着及混入的同时，稳定地制造玻璃微粒堆叠体。在本发明的玻璃微粒堆叠体的制造方法中，利用外侧容器覆盖反应容器的周围，在反应容器中的配置喷管的那一侧的侧面设置净化空气导入口，在净化空气导入口处设置对净化空气进行整流的网眼状壁部，将支撑喷管的支撑台配置在外侧容器的外部，在向标靶堆叠玻璃微粒时，通过向反应容器和外侧容器之间的空间部供给净化空气，从而从净化空气导入口经由网眼状壁部，将空间部内的净化空气送入反应容器内，并使空间部内的压力比反应容器内的压力以及外侧容器外部的压力即大气压高。

主权项

一种玻璃微粒堆叠体的制造方法，在该方法中，向反应容器内的标靶上堆叠通过喷管的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒，该制造方法的特征在于，利用外侧容器覆盖所述反应容器的周围，在所述反应容器中的配置所述喷管的那一侧的侧面设置净化空气导入口，在所述净化空气导入口处设置对净化空气进行整流的网眼状壁部，形成包围所述净化空气导入口的腔室，将支撑所述喷管的支撑台配置在所述外侧容器的外部，在向所述标靶堆叠所述玻璃微粒时，通过向所述腔室供给净化空气，从而从所述净化空气导入口经由所述网眼状壁部，将所述腔室内的净化空气送入所述反应容器内，并使所述反应容器和所述外侧容器之间的空间部内的压力Ps比所述反应容器内的压力Ph以及所述外侧容器外的压力Pt高，并且使所述腔室内的压力Pc比所述空间部内的压力Ps高。