[发明专利]曝光装置、移动体驱动系统、图案形成装置、以及曝光方法有效
| 申请号： | 201210035719.X | 申请日： | 2008-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102540767A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 柴崎祐一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种曝光装置、移动体驱动系统、图案形成装置、以及曝光方法。在晶片载台(WST)在Y轴方向上直线移动的期间，由多点AF系统(90)检测在X轴方向以既定间隔设定的多个检测点的晶片(W)表面的面位置信息，由沿X轴方向排列成一列的多个对准系统(AL1、AL21～AL24)分别检测晶片上彼此不同位置的标记，由周边曝光系统(51)使晶片的缺照射的一部分曝光。据此，与无关系地进行标记检测动作、面位置信息(焦点信息)的检测动作、以及周边曝光动作的场合相比较，能提升生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 移动 驱动 系统 图案 形成 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种移动体驱动系统，实质沿既定平面驱动移动体，其具备：编码器系统，具有读头，此读头对具有在与上述既定平面平行的面内以彼此正交的第1、第2方向为周期方向的2维光栅的标尺照射检测光，并接收来自上述标尺的光，此编码器系统根据上述读头的测量值，测量在包含上述第1、第2方向的上述既定平面内的至少2自由度方向的上述移动体的位置信息；以及驱动装置，根据上述编码器系统的测量信息，驱动上述移动体。
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