[发明专利]热稳定性增强的透明导电薄膜及其应用有效

专利信息
申请号: 201210036794.8 申请日: 2012-02-17
公开(公告)号: CN102543271A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 陈晓红;周琳;朱峰;孙卓 申请(专利权)人: 华东师范大学
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01L31/0224
代理公司: 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 代理人: 董红曼
地址: 200062 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于光电器件领域,公开了一种热稳定性增强的透明导电薄膜及其应用。本发明提出了一种热稳定性增强的透明导电薄膜,从下至上依次包括:衬底、第一氧化物层、第一重掺杂层、金属层、第二重掺杂层和第二氧化物层。本发明还提供了所述透明导电薄膜在光电器件中的应用。本发明通过在透明导电薄膜的金属层与氧化层界面间引入重掺杂层,降低透明导电薄膜的电阻率,提高了透明导电薄膜的热稳定性。
搜索关键词: 热稳定性 增强 透明 导电 薄膜 及其 应用
【主权项】:
一种热稳定性增强的透明导电薄膜,其特征在于,从下至上依次包括衬底(1)、第一氧化物层(21)、第一重掺杂层(31)、金属层(4)、第二重掺杂层(32)和第二氧化物层(22)。
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