[发明专利]热稳定性增强的透明导电薄膜及其应用有效
申请号: | 201210036794.8 | 申请日: | 2012-02-17 |
公开(公告)号: | CN102543271A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 陈晓红;周琳;朱峰;孙卓 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01L31/0224 |
代理公司: | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人: | 董红曼 |
地址: | 200062 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于光电器件领域,公开了一种热稳定性增强的透明导电薄膜及其应用。本发明提出了一种热稳定性增强的透明导电薄膜,从下至上依次包括:衬底、第一氧化物层、第一重掺杂层、金属层、第二重掺杂层和第二氧化物层。本发明还提供了所述透明导电薄膜在光电器件中的应用。本发明通过在透明导电薄膜的金属层与氧化层界面间引入重掺杂层,降低透明导电薄膜的电阻率,提高了透明导电薄膜的热稳定性。 | ||
搜索关键词: | 热稳定性 增强 透明 导电 薄膜 及其 应用 | ||
【主权项】:
一种热稳定性增强的透明导电薄膜,其特征在于,从下至上依次包括衬底(1)、第一氧化物层(21)、第一重掺杂层(31)、金属层(4)、第二重掺杂层(32)和第二氧化物层(22)。
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