[发明专利]物理量传感器及电子设备

摘要

本发明提供物理量传感器及电子设备。物理量传感器(10)的特征在于，具有：基板；第1、第2移位部(21、31)，它们配置在基板上的空间平面内，并具有旋转轴(22、32)；固定电极部，其设置在基板的分别与第1、第2移位部(21、31)相对的位置处；支承部(40)，其分别支承第1移位部和第2移位部的旋转轴；固定部(50)，其经由弹簧部(60)对支承部(40)进行支承；以及驱动部(70)，其使支承部(40)在振动方向上振动，第1、第2移位部能够以旋转轴为轴相对于空间平面在垂直方向上移位，旋转轴被设置成分别偏离第1移位部或第2移位部的重心，第1移位部(21)的旋转轴(22)与第2移位部(31)的旋转轴(32)从重心偏离的方向彼此相反。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：基板；第1移位部和第2移位部，它们配置在所述基板上的空间平面内，并具有旋转轴；固定电极部，其设置在所述基板的分别与所述第1移位部以及第2移位部相对的位置处；支承部，其支承所述第1移位部和第2移位部各自的所述旋转轴；固定部，其经由弹簧部支承所述支承部；以及驱动部，其使所述支承部在振动方向上振动，所述第1移位部和第2移位部能够以所述旋转轴为轴相对于所述空间平面在垂直方向上移位，所述旋转轴分别被设置成偏离所述第1移位部或第2移位部的重心，所述第1移位部的所述旋转轴与所述第2移位部的所述旋转轴从所述重心偏离的方向彼此相反。