[发明专利]一种硅棒表面处理方法无效
| 申请号： | 201210042285.6 | 申请日： | 2012-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102581771A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 姚小威;高晓舵;张泰运;张杨;刘永生;吴剑枢;王党卫 | 申请（专利权）人： | 上海超日（洛阳）太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/00 | 分类号： | B24C1/00;B24C7/00;B24C9/00;B24C11/00;B24C5/02 |
| 代理公司： | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人： | 陆君 |
| 地址： | 471900*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种涉及硅棒表面处理技术的硅棒表面处理方法，所述的方法为：使用1.5～4.5kg压力的气压喷枪将800～1500目的微粒物质由30～75度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为15～45分钟；采用所述的方法即能有效控制硅棒表面损伤层的深度，又能获得平整度较高的硅棒表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种硅棒表面处理方法，其特征是：所述的方法为：使用1.5～4.5kg压力的气压喷枪将800～1500目的微粒物质由30～75度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为15～45分钟；所述微粒物质的硬度大于硅的硬度。
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