[发明专利]一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统无效
| 申请号： | 201210043157.3 | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102580967A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 徐昕;郑春宁;尤向东;何波 | 申请（专利权）人： | 南京亚格泰新能源材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/28 | 分类号： | B08B9/28 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐激波 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，喷嘴固定在钢瓶口，连接高压泵及高纯氮气管线，根据钢瓶内壁情况选择合适的洗涤液，用泵加压到5-10Bar后喷入钢瓶，清洗3-10分钟，将去离子水加热到50-80℃并加压到30-60Bar对钢瓶再次清洗，然后通入5.0N以上氮气吹干钢瓶内壁，用内窥镜检查钢瓶状况，钢瓶内无生锈、无油污、无颗粒为合格。本发明还公开了一种与上述清洗方法相配套的高纯硅烷钢瓶清洗系统。本发明很好地解决了钢瓶内部对硅烷气体的二次污染问题，可以保存5.0N的硅烷气体，使产品更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅烷 钢瓶 清洗 方法 配套 系统 | ||
【主权项】：
一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：用内窥镜检查钢瓶，确定钢瓶内的污染状况；用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5‑10Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶，清洗3‑10分钟；将去离子水储罐中的纯水用高压泵加压到30‑60Bar，然后送到热交换器，加热到50‑80℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶再次清洗2‑10分钟；然后通入纯度为5.0N以上的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶吹干钢瓶内壁；用内窥镜检查钢瓶状况，钢瓶内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。
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